Chemische zuivering van gas voor debieten van 100-1200 nlpm.
Micro-Bulk purifiers bieden doorgaans een gematigd debiet en zuiveren tot 9N. Typische toepassingen zijn laboratoria die een aantal gebruikspunten hebben. Of ze bedienen productiegebieden waar een aantal machines staan (dan worden ze meestal "Area purifier" genoemd). De micro-bulk purifier heeft doorgaans permanent geïnstalleerde UHP leidingen naar elk gebruikspunt.
Micro-bulk purifiers kunnen als opzichzelfstaand vat geleverd worden, of in een configuratie met 2 parallele vaten. Daarmee is 24/7 bedrijfsvoering mogelijk, omdat de twee vaten om beurten zuiveren en in het regeneratieproces draaien.
De paralelle opstelling kan de vorm hebben van een open skid, met handmatig bediende regelaars en ventielen. Een andere veelvoorkomende vorm is de uitvoering in een gesloten kast, waarbij regelaars geautomatiseerd aangestuurd worden vanuit een PLC. Dit is het grensvlak tussen bulk purifiers, want die gebruiken dezelfde opstelling. Het enige waarin de micro-bulk purifier zich in dat geval onderscheidt van een bulk purifier is het maximale debiet, wat kleiner zal zijn en dat maakt het formaat van de kast ook kleiner.
De engineering afdeling van Teesing ontwerpt purifier skids, -panelen en -kasten. De purifiers zelf betrekken we van een drietal leveranciers, alhoewel het steeds vaker voorkomt dat we ook de purifiers in huis lassen, voorzien van inlaat- en uitlaatfilters en vullen met het toepasselijk medium. Wij ontwerpen doorgaans met deze bedrijfsfactoren:
Foto: Twee 11 liter purifiers die gecombineerd worden tot een micro-bulk purifier met automatische regeneratie.
De geschikte vatgrootte is gebaseerd op het verwachte debiet van het te zuiveren gas, de input van de onzuiverheid en de gewenste levensduur tussen regeneratie of vervanging. In sommige gevallen is het wenselijk om het vat groter te maken om de te behalen zuiverheid te verhogen of de bedrijfscyclus te verlengen. Nominaal verwijderen onze micro-bulk purifiers onzuiverheden tot beter dan 100 PPT bij een nominale levensduur van een jaar. De purifiers zijn altijd voorzien van vaste deeltjes filters aan de ingang. De maximale flows die gerealiseerd kunnen worden, zijn afhankelijk van de gekozen filtratie-optie: 3nm of 1nm. Deze filters mogen niet gezien worden als oplossing voor deeltjes vervuiling. Daarvoor hebben ze niet genoeg capaciteit. Ze zijn slechts bedoeld ter bescherming van de purifier. Als er naast chemische verontreiniging ook deeltjes vervuiling is, dan is een apart filter de oplossing.
Worden direct op de plek van de verbruiker geinstalleerd. Doorgaans met een debiet van 0,1-100 slpm.
Meer informatieOok wel Area purifiers genoemd. Worden vaak gebruikt om een aantal machines te voeden met ultra puur proces gas. Nominale flows 100-1200 slpm.
Meer informatieGasvoeding in semicon fabs, of bij industriele gasleveranciers. Flows van 60-20.000 nm3/hr.
Meer informatieSnelle, vakkundige regeneratie van alle merken en typen purifiers.
Meer informatieMeer informatie over onze producten of op zoek naar een oplossing op maat? Neem contact op met onze sales engineers.
NL: +31 70 413 07 00
CN: +86-(0)10-60576210
USA: +(1) 973 383 0691
TW: +886-(0)3-5600560
Heeft u al contact met een sales engineer? Neem rechtstreeks contact op:
Vind uw sales engineerWilt u meer informatie over onze producten, services of een oplossing op maat? Neemt u dan contact op met een van onze Sales Engineers
Neem contact met ons opWE MAKE YOUR TECHNOLOGY WORK
NL - Tel. +31 70 413 07 50
USA - Tel. +(1) 973 383 0691
CN - Tel. +86 (10) 56865822/56865835
TW - Tel. +886-(0)3-5600560